DGIST 중앙기기센터는 국내 중·소 기업체에서 개발된 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼 및 정밀 분석을 제공하는 등 국내 최고 수준의 연구 플랫폼에서 소재‧소자에 대한 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공한다.
중앙기기센터는 국내 최고 수준의 반도체 FAB(소자클린룸)을 보유하고 있으며, 주요 인프라는 실리콘계 반도체 공정, MEMS, 통신소자, 센서, 마이크로가공, 계측시뮬레이션 및 나노·바이오분석을 위한 공용장비 등 총 170여 대가 구축돼 있다.
현재 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 극미세 나노분석기술을 제공하여 대기업 및 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있다.
또한, 반도체 블랭크 마스크(Blank Mask) 소재제작 유망기업에 대해서는 최신의 구조‧성분‧분광 분석을 제공하고 있으며, 일본수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 개발 기업에는 테스트 베드를 제공함으로써 제품의 국산화를 돕고 있다.
한편, DGIST는 중앙기기센터 활용과 함께 기술자문단을 구성해 소재·부품·장비 독자기술 개발을 적극 지원할 예정이다. 기술자문단은 총 5개 분과로 구성되는데, 기술분과 4개와 분석·실증분과 1개로 운영된다. 자문위원으로는 DGIST 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 참여한다.
대구 홍성철 기자 newswaydg@naver.com
뉴스웨이 강정영 기자
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