삼성전자, 업계 첫 EUV 적용 D램 양산
삼성전자가 업계 최초로 극자외선(EUV) 공정을 적용한 D램의 양산 체제를 갖췄다. 삼성전자는 EUV 공정을 적용해 생산한 1세대 10나노급(1나노 10억분의 1미터) DDR4 D램 모듈 100만개 이상을 공급해 글로벌 고객의 평가를 완료했다고 25일 밝혔다. 삼성전자는 메모리 업계 최초로 차세대 D램 제품부터 EUV 공정을 전면 적용해 반도체 미세공정의 한계를 돌파할 채비를 갖추게 됐다고 평가했다 EUV 노광 기술을 적용하면 양산 과정에서 성