삼성전자, 일본산 불화수소 대신 국산 투입

그래픽=박혜수 기자

삼성전자가 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체했다.

3일 관련업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산이 아닌 제품을 투입했다. 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 대체품 사용을 확대해 나간다는 계획이다.

삼성전자가 생산에 투입한 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다. 일본이 지난 7월 초 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만의 성과다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다.