[공시]테스, 기판지지유닛 관련 특허권 취득

코스닥 상장사 테스는 히터샤프트의 중공부를 이용한 기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

회사 측은 “이번 특허에 다른 기판지지유닛은 히터 또는 감지센서에 연결되는 파워로드 또는 센서라인을 히터샤프트의 중공부가 아니라 히터샤프트의 측벽을 관통해 배치한다”며 “히터샤프트의 중공부를 통해 기판 중앙부의 온도제어를 용이하게 수행할 수 있다”고 밝혔다.