종목 [특징주]티로보틱스 12% 급등···유리기판 진공로봇 日 특허 등록 티로보틱스가 반도체 유리기판 공정 관련 일본 특허 등록 소식에 장 초반 강세를 보였다. 인공지능 반도체와 고대역폭메모리 시장 확대로 유리기판 수요가 증가하자 진공 챔버 내 기판 이송 장치 기술에 관심이 집중됐다. 티로보틱스는 OLED 진공로봇을 개발·생산하며, 삼성디스플레이, LG디스플레이, 중국 BOE 등을 고객사로 확보하고 있다.