티로보틱스 12% 급등···유리기판 진공로봇 日 특허 등록

상한가 근접하며 2만원선 돌파

AI 반도체 확산에 유리기판 주목

진공 챔버 기판 이송 특허 등록

특징주. 그래픽=박혜수 기자

티로보틱스가 반도체 유리기판 공정 관련 일본 특허 등록 소식에 장 초반 강세를 보이고 있다. 인공지능(AI) 반도체와 고대역폭메모리(HBM) 시장 확대에 따른 유리기판 수요 기대감이 반영된 것으로 풀이된다.

28일 한국거래소에 따르면 오전 10시 27분 기준 티로보틱스는 전 거래일 대비 2260원(12.78%) 오른 1만9950원에 거래되고 있다. 장중 한때 2만2800원까지 치솟으며 상한가에 근접하기도 했다. 거래량은 133만주를 넘어섰다.

티로보틱스는 이날 반도체 유리기판 공정용 '진공 챔버 내 기판 이송 장치'에 대한 일본 특허 등록을 완료했다고 밝혔다. 해당 기술은 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화된 진공로봇 기술로, 전방향 핸들링과 멀티 챔버 대응 구조를 적용해 고청정 진공 환경 대응력을 높인 것이 특징이다.

회사는 지난해 반도체대전(SEDEX 2025)에서 유리기판 이송용 진공로봇을 공개한 바 있다. 최근 AI 반도체와 첨단 패키징 시장 확대와 함께 유리기판 기반 공정 중요성이 커지면서 관련 장비 수요도 증가하는 추세다.

유리기판은 기존 PCB(인쇄회로기판)보다 평탄도가 높고 미세회로 구현에 유리해 AI 서버와 HBM용 차세대 반도체 공정 핵심 기술로 꼽힌다.

티로보틱스는 국내에서 유일하게 OLED(유기발광다이오드) 진공로봇을 개발·공급하는 기업이다. 현재 삼성디스플레이와 LG디스플레이, 중국 BOE 등을 고객사로 확보하고 있으며 6세대·8세대·11세대 OLED 진공로봇을 생산하고 있다.