SK하이닉스, 4.7조 규모 EUV 장비 투자···5년간 순차 도입

네덜란드 ASML과 계약 체결···차세대 공정 양산 대응

M16 공장에 도입 예정···10나노 4세대 D램 생산에 활용

SK하이닉스 M16 전경. 사진=SK하이닉스 제공

SK하이닉스는 24일 이사회를 열고 EUV(극자외선) 스캐너 구입을 위해 2025년까지 4조7549억원을 투자하기로 결정했다고 밝혔다. 이는 자산총액 대비 7.34%에 해당하며 취득 예정일자는 2025년 12월까지다.

이를 위해 SK하이닉스는 네덜란드의 ASML과 5년간 기계장치 구매 계약을 체결했다. EUV 장비는 현재 ASML이 독점적으로 생산 중이다.

SK하이닉스는 취득 목적에 대해 “차세대 공정 양산 대응을 위한 EUV 장비 확보”라고 밝히며 “향후 5년 동안 순차적으로 장비가 도입될 예정으로 개별 장비의 취득시마다 분할해 비용을 지불할 예정”이라고 설명했다.

업계에 따르면 EUV 장비는 한 대당 가격이 평균 2000억원 이상으로 이번 계약을 통해 SK하이닉스는 EUV 장비 20대 이상을 확보한 것으로 추정된다.

한편 이번 계약에 따라 확보한 EUV 장비는 최근 준공된 M16 공장에 도입될 예정이다.

SK하이닉스는 앞서 M16 공장에서 EUV 노광 장비를 최초로 도입해 하반기부터 4세대 10나노미터급(1a) D램 제품을 생산할 예정이라고 밝힌 바 있다. 향후 EUV 장비의 활용도를 더 높여 메모리 반도체 미세공정 기술 리더십도 더욱 강화한다는 방침이다.

EUV는 반도체 원재료인 실리콘 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술이다. 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 AI·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적인 기술이다.