美정부, 중국 반도체 생산능력 경계···ASML에 장비 유지·보수 압박

미국 정부가 중국 반도체 생산을 경계하기 위해 네덜란드 반도체 장비 제조업체인 ASML 압박 강도를 높일 전망이다. 이미 신규 장비 판매를 제한하고 있는 가운데 판매한 장비의 유지·보수에도 제한을 둘 계획이라고 알려진다.

6일 매일경제에 따르면 미 상무부 산업안보차관이 오는 8일 네덜란드 정부 당국자들과 ASML 관계자들을 만나 ASML의 서비스 계약에 대해 논의할 예정이라고 알려진다. 에스테베스 차관은 미 정부의 수출통제 정책을 총괄하는 산업안보국(BIS)의 책임자다. 백악관 국가안보회의(NSC) 관리들도 에스테베즈 차관과 함께 네덜란드를 방문한다.

네덜란드 정부는 중국의 첨단 반도체 생산을 견제하는 미국 압박으로 ASML 대중국 반도체 장비 수출을 통제하고 있다. ASML은 반도체 생산에 필수적인 노광장비 분야의 독보적 업체이며, 노광장비는 극자외선(EUV) 등을 이용해 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 새겨 넣는 장비다.

미국은 중국 압박 강도를 높이기 위해 수출 통제 전 중국이 수입한 ASML 장비도 제대로 활용하지 못하도록 장비 유지와 보수에 필요한 서비스도 제공하지 말 것을 네덜란드 정부와 ASML에 요구해왔다.

미국은 ASML의 장비를 수입하는 것이 제한된 중국 반도체 생산 공장 명단을 추가하는 방안도 논의할 예정이라고 소식통은 전했다.

네덜란드 외교부는 에스테베스 차관이 방문한다는 것은 확인했지만, 어떤 의제를 논의할지는 밝히지 않았다. 네덜란드 외교부는 "우리는 항상 파트너들과 좋은 대화를 하고 있다. 8일 예정된 당국자들의 만남도 그런 대화의 한 사례"고 밝혔다. 이어 "각 나라들은 기술적, 지정학적 발전을 바탕으로 스스로 결정을 내려야 한다"고 덧붙였다.