"상전 모시자"···이재용 회장, '슈퍼을' ASML 협력 강화 무게

ASML CEO 방한 앞둬···이재용과 회동 가능성

TSMC 추격자 삼성, EUV 보유수 절대부족

美 반도체 규제로 ASML 中 매출 감소 전망

中 매출 전체 3위···"ASML 매출 40% 줄 것"

이재용 삼성전자 회장이 네덜란드에 위치한 ASML 본사를 찾아 반도체 장비를 살펴보는 모습 사진=삼성전자 제공

네덜란드 반도체 장비업체 ASML 임원들이 다음 주 한국 방문을 앞두고 업계에선 이재용 삼성전자 회장의 동선을 주목하고 있다. ASML만이 최첨단 반도체에 반드시 필요한 EUV(극자외선)를 생산하다 보니 밀월 관계를 위해 회동 가능성에 무게가 실리고 있기 때문이다. 이 회장은 유럽 출장 일정을 보낸 지난 6월 ASML 본사를 직접 찾아 경영진과 회동하기도 했다.

ASML 입장에서도 삼성전자와의 협업 강화는 중요한 경영 전략이다. ASML은 네덜란드 기업이지만 미국의 압력에 2019년부터 중국에 EUV 장비 수출을 못하고 있는데 최근 추가된 반도체 수출 규제로 중국과의 거래가 더욱 어려워졌기 때문이다. 업계에선 ASML의 중국 매출이 40% 줄어들 것으로 내다보고 있는 상황이다.

7일 반도체 업계에 따르면 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 다음 주 한국을 찾을 예정이다. 주요 목적은 이달 16일 경기도 화성에서 열리는 ASML의 화성 반도체 클러스터 기공식에 참석하기 위함이다. 지난해 5월 ASML은 우리 정부의 'K-반도체 전략' 수립에 동참하며 경기도 화성에 EUV 클러스터를 조성하기 위해 2400억원 규모의 투자를 발표했다.

ASML이 생산하는 핵심 장비는 크게 EUV와 DUV(심자외선)로 분류된다. EUV는 파장이 짧은 극자외선 광원을 이용해 첨단 미세회로를 구현한다. ASML이 전 세계에서 유일하게 생산하고 있으며 '부르는 게 값'인 제품이다. EUV의 구식 장비인 DUV는 빛을 이용해 웨이퍼에 전자회로를 새긴다. 현재 메모리 반도체의 90% 가량이 DUV를 사용하고 있다.

삼성전자로선 ASML과의 파트너십 강화는 필수적이다. EUV는 10나노(1nm=10억분의 1m) 이하 공정을 적용받는 반도체에 주로 쓰인다. 첨단 반도체에 대한 수요가 높아지고 있는 만큼 파운드리 1위 기업인 TSMC와의 점유율 격차를 줄이기 위해 한 대라도 더 확보할 필요가 있는 것이다. 현재 TSMC는 EUV를 100여대, 삼성전자는 15대 가량 보유한 것으로 알려졌다.

도현우 NH투자증권 연구원은 "ASML의 노광장비는 수요 대비 공급이 부족하고 EUV는 주문하면 인도까지 2년 가까이 걸릴 정도로 적체가 심하다"라고 설명했다. ASML은 EUV 생산량을 2023년 60대에서 2025년 90대까지 늘리기로 했다. 하지만 올해 초 인텔까지 ASML과 EUV 공급 계약을 체결한다고 발표하면서 공급과 수요의 불균형은 앞으로도 이어질 전망이다.

첨단 반도체 생산 능력에 있어서도 삼성전자와 TSMC간 간극이 벌어진 가운데 반도체 전문가들도 ASML과의 협업 강화는 필수라고 강조하고 있다. 김양팽 산업연구원 전문연구원은 "EUV의 주요 고객은 한국과 대만 기업인데 이미 장비 주문은 포화상태에 있고 TSMC가 수요 중 절반 이상을 차지하고 있다"며 "조금이라도 장비를 확보할 필요가 있다"고 말했다.

중국은 미국의 반도체 제조 장비 수출 규제로 첨단 공정 전환에 제동이 걸린 상태다. 미국의 어플라이드 머티리얼즈, 램 리서치, KLA의 글로벌 반도체 제조 장비 합산 점유율이 50%를 넘어 이들 기업 장비 없이 반도체 제조가 사실상 불가능하다는 평가다. 한국무역협회 국제무역통상연구원에 따르면 지난해 중국의 반도체 장비 수입액은 386억달러로 세계에서 가장 높았다.

ASML에게도 중국은 중요한 시장이다. 지난해 ASML은 중국에서 32억4000만달러의 매출을 올렸다. 주요 국가 중 전체 세 번째 규모다. 또 3분기 중국 매출은 대만(+1%), 한국(-9%) 대비 5% 증가했다. 피터 베닝크 CEO는 3분기 실적 발표 이후 미국의 수출 규제로 인한 '영향은 없을 것'이라고 했으나 로이터는 ASML의 중국 매출이 최대 40% 하락할 수 있다고 내다봤다.