ASML 만난 이재용, "순방 성과 90%는 반도체"

윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행

2나노 필수 장비, 하이 NA EUV 도입 속도

삼성전자 이재용 회장과 경계현 DS부문장이 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 귀국했다. 사진=연합뉴스 제공

삼성전자가 반도체 업계의 '슈퍼 을(乙)'로 통하는 ASML과 협력을 확대하기로 했다.

15일 업계에 따르면 이재용 삼성전자 회장은 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 이날 오전 서울 김포공항 비즈니스센터를 통해 귀국했다. 이 회장은 순방 성과에 대해 "반도체가 거의 90%였다"고 말하면서 ASML과 이야기를 나눈 내용에 대해서는 말을 아꼈다.

ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 세계에서 유일하게 생산하는 기업으로 반도체 업계에서는 '슈퍼 을'로 불린다.

삼성전자와 ASML은 지난 12일(현지시간) 한국-네덜란드 반도체 협력 협약식에서 업무협약(MOU)을 맺고 7억 유로(약 1조원)를 투자해 차세대 노광장비 개발을 위한 극자외선 공동 연구소 설립을 추진하기로 했다.

이 회장과 함께 윤 대통령의 국빈 방문에 동행한 경계현 삼성전자 DS(반도체) 부문장은 "협약식에서는 동탄에 공동 연구소를 짓고 거기서 하이(High) NA EUV를 들여와 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발을 하는 것들이 주목적"이라고 설명했다.

이어 "그걸 통해 이제 High NA EUV에 대한 기술적인 우선권을 삼성이 갖게 될 것"이라며 "장기적으로 D램이나 로직에서 High NA EUV를 잘 사용할 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"고 전했다. ASML이 곧 출하할 'High NA EUV' 장비는 2나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1ｍ) 공정의 핵심 장비다.

또 취재진이 '경쟁사보다 장비를 빨리 들여오는 것이냐'는 질문에 경 사장은 "그런 관점보다는 ASML과 삼성의 엔지니어가 공동 연구를 통해 이제 삼성이 High NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력 관계를 맺어가는 게 더 중요하다고 본다"고 말했다.

이어 "EUV가 가장 중요한 툴 중 하나이기 때문에 이거를 통해 전체적인 반도체의 공급망 입장에서 굉장히 튼튼한 우군을 확보했다고 본다"고 설명했다.