삼성전자, '네온가스' 재활용 성공···반도체 공정 투입

삼성전자 사진=강민석 기자 [e-mail]

삼성전자가 전량 수입에 의존하던 반도체 필수 원료인 네온(Ne)가스를 재활용하는 데 성공했다.

7일 연합뉴스 등에 따르면 삼성전자는 내년부터 재활용 네온가스를 반도체 공정에 투입할 예정이다. 네온가스를 재활용해 반도체 공정에 투입하는 것은 삼성전자가 처음인 것으로 알려졌다.

네온은 반도체 노광 공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료 중 하나로, 공기 중에 0.00182% 밖에 포함돼 있지 않은 희귀 원료다. 러시아·우크라이나 전쟁 여파로 가격이 40배 넘게 폭등하며 반도체 공급망 불안 요소로 꼽히기도 했다.