"TC본더 특허 침해"···한화세미텍, 한미반도체 상대로 역소송

한화세미텍 TC본더 'SFM5-Expert' 사진=한화세미텍 제공

한화세미텍이 한미반도체를 상대로 고대역폭메모리(HBM) 제조용 TC(열압착) 본더 관련 특허 침해소송을 제기했다. 한미반도체가 기술 탈취 의혹으로 소송을 낸지 1년여 만에 한화세미텍이 맞받아친 셈이다.

28일 관련 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 이 같은 내용을 골자로 한미반도체에 소송을 제기한 것으로 파악됐다.

TC 본더는 HBM 생산을 위한 필수 장비다. 제품에 쓰이는 D램을 쌓아 올리는 과정에서 칩을 하나씩 열로 압착해 붙이는 역할을 한다.

한화세미텍은 한미반도체의 5세대 HBM(HBM3E)용 TC본더에 탑재된 일부 부품이 자신들의 특허 기술로 제작됐다고 주장하는 것으로 알려졌다.

한화세미텍 측은 "지금으로서는 자세한 내용을 공개하기 어렵다"면서도 "반도체 장비 핵심 기술을 보호하는 차원"이라고 설명했다.

업계에선 특허 유출을 둘러싼 양사의 갈등 국면이 차츰 전면전 양상으로 치닫는다는 데 주목하고 있다. 지난해 12월 한미반도체는 한화세미텍이 자신들의 TC본더 관련 특허를 침해했다며 소송을 냈고, 한화세미텍은 올 5월 해당 특허에 대한 무효심판을 특허심판원에 청구하기도 했다.

한미반도체 측은 입장문을 통해 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송"이라며 "회사가 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치한 행동"이라고 반박했다.

이어 "한미반도체는 TC본더 시장 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 이래 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다"며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호할 것"이라고 덧붙였다.