
전기·전자
한화정밀기계 "한미반도체 특허 침해 사실무근"···강경 대응 예고
한화정밀기계가 반도체 장비 특허를 침해했다는 한미반도체 측 주장에 정면으로 반박하고 나섰다. 19일 한화정밀기계는 이날 공식 입장 자료를 통해 "한화정밀기계는 30년 넘는 반도체 장비 관련 R&D 기술을 기반으로 자체 개발한 제품을 제조·판매하고 있다"면서 "개발과정에서 선행기술 조사과정을 거치고 있으므로, 특정사가 자신의 특허를 침해하였다는 주장은 사실과 다르다"고 밝혔다. 이는 한미반도체가 한화정밀기계의 TC(열압착) 본더 특허