전기·전자
"중국, DUV 노광장비 2종 개발"
중국이 반도체 생산에 필요한 심자외선(DUV) 노광장비를 개발한 것으로 전해졌다. 15일 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)에 따르면 중국 공업정보화부(MIIT)는 '주요 기술 장비' 신규 목록을 통해 ▲파장 193나노미터(㎚=10억분의 1m), 해상도 65나노 미만, 오버레이(overlay) 정확도 8나노 미만 ▲파장 248나노, 해상도 110나노, 오버레이 정확도 25나노 DUV 2종을 개발했다고 밝혔다. 다만 제작사 이름은 공개하지 않았다. 두 장비의 성능은 최첨단